アルミやステンレス（特にSUS304、SUS316）は一般的にオゾン耐性があります。

ゴム製品では、フッ素（FPM）は高濃度のオゾンにも耐性があり、アクリル（ACM、ANM）、エチレンプロピレン（EPD、EPDM）、ブチル（HR）もある程度オゾン耐性があります。